1978，从抱着孩子上大学开始 第267节

　　“谢……谢总，”孙启明斟酌着词句说道：“您这个问题，问到根子上了。我了解一些皮毛，电子级多晶硅，核心是提纯。

　　西门子法主流，原理是用氢气还原三氯氢硅，在高温硅芯上沉积。

　　难就难在整个系统的洁净度、温度控制的均匀性、以及原料气体中杂质，特别是硼、磷、金属的去除，要求是 ppt（万亿分之一）级别。

　　设备难点，还原炉的内壁材料要耐高温、抗腐蚀、不引入杂质，气体纯化系统极其复杂。

　　上游原料，石英砂要高纯，氯气和氢气也要超高纯。至于国内……”他苦笑一下说道：“工业硅有，但电子级……几乎空白。

　　生产电子级多晶硅的设备，国内更是无从谈起。**”

　　“好！”谢建军不仅没有失望，反而在手中的笔记本上快速记录，并在墙上的树状图多晶硅分支下，标出了西门子法、还原炉、气体纯化、原料高纯石英砂等关键词，并在国内状况旁，打了一个巨大的X和空白。

　　“这就是我们要做的第一步，拆解与定位。”谢建军沉声道：“把芯片制造这个庞大的体系，一层层拆解，拆到最基本的材料、设备、原理单元。

　　然后，用我们所有的知识、渠道和信息，去定位每一个单元的国际现状、技术原理、关键难点，以及我们自身的位置，是空白？是落后？还是有点基础？**”

　　他的教鞭继续移动，掠过单晶硅、晶圆切割抛光，停在了光刻这个节点上，这里被打了一个醒目的红色圆圈。

　　“吴工，廖博士，”谢建军看向吴敏华和廖永康：“光刻，被称为半导体工业皇冠上的明珠。

　　我们现在不谈追上，只谈理解。请两位从各自专业角度，用最朴素的语言告诉我们，光刻，到底难在哪里？

　　是光学镜头设计难？是光源产生难？是精密对准控制难？还是光刻胶化学材料难？或者，是这些难题叠加在一起的系统复杂度让人绝望？”

　　吴敏华和廖永康对视一眼，都从对方眼中看到了凝重，也有一丝被真正问到专业核心的激动。

　　吴敏华先开口，语气带着科研人员特有的严谨：“从光学角度，难在像差控制。

　　要把电路图形微缩数万倍、高保真地投射到硅片上，需要分辨率极高、畸变和像散极小、且视场要足够大的投影物镜。

　　这需要十几片、甚至几十片特殊玻璃，或石英透镜的精密组合，每一片的面形、厚度、材料均匀性都要求达到纳米级。

　　设计这样的镜头，本身就是一门极其高深的学问，更别提制造和检测。目前全世界，只有极少数公司能做。”

　　廖永康接着补充，他的视角更偏向物理本质：“吴工说得对。但我认为，光刻的物理极限，最终受制于光源的波长。

　　波长越短，分辨率越高。但波长缩短，会带来一系列新问题，比如更短波长的光，如深紫外、极紫外很难产生足够的能量，也很难找到能透过它的透镜材料，极紫外光下，连空气都吸收严重，需要真空环境，透镜也要用反射镜代替。

　　这就涉及到新的光源技术，如准分子激光、激光等离子体光源、新的光学系统反射式、以及与之匹配的新型光刻胶。

　　每一个，都是一个巨大的科学和工程挑战。而且，”他顿了顿继续说道：“这些挑战之间，是强耦合的。解决一个，可能会暴露出另外几个更难的。**”

　　谢建军认真地听着，记录着，并在光刻节点下，分出了光学镜头，反射镜、光源（波长，能量）、光刻胶（与波长匹配）、精密对准与控制系统，等多个子分支，并在每个子分支旁，都标注了极难、原理复杂、多学科耦合等字样。

　　“所以，”谢建军放下笔，看向众人，目光扫过每一张沉思或凝重的脸。

　　“我们铸基计划的第一个阶段性目标，就是：在未来一年内，利用我们能够触及的一切公开，和非公开渠道，期刊、会议、专利、北极星、特殊人脉，围绕这张图上的每一个关键节点，进行系统的、深入的信息收集和原理分析。

　　产出物，不是产品，不是论文，是一份份详尽的、带有我们自己分析，和判断的技术侦察报告。”

　　“孙工，您牵头，组建材料与工艺分组，负责多晶硅、单晶硅、硅片、光刻胶、电子气体、抛光材料、靶材等所有材料的原理，与供应链分析。**”

　　“吴工，廖博士，你们二位，加上宋工（因其对波动的理解），组成装备与物理原理分组。

　　任务最重，也最抽象。你们不仅要分析光刻，还要覆盖刻蚀、薄膜沉积（PVD/CVD）、离子注入、清洗、检测等所有关键设备，背后的核心物理原理和工程难点。

　　特别是，”谢建军强调道：“要关注那些可能被主流忽视、但在原理上有潜力的替代技术路径。

　　比如，除了光学光刻，有没有其他可能？哪怕只是理论上的。**”

　　“赵工，您统筹全局，并负责与星火其他小组，如精密机械、逆向工程的协调。

　　沈宏，你作为联络员和信息管理員，负责所有报告、资料、图纸的归档、加密和检索。**”

　　“经费，单独拨付，实报实销，但每一分钱的用途必须清晰。人员，宁缺毋滥，安全第一。

　　我们的工作，可能十年、二十年都看不到直接的、显性的回报。我们的名字，也可能永远不会出现在，任何光鲜的成果名单上。”

　　谢建军的声音在安静的会议室里回荡，带着一种穿越时间的沉重与希冀：

　　“但我想请各位老师相信，我们今天在这里画的每一个问号，标注的每一个空白，分析的每一个难点，都是在为我们国家未来的信息产业大厦，勘探地质，标记矿脉，规避暗礁。

　　当未来的某一天，国家真正下定决心，要攻克这座产业珠穆朗玛峰时，希望我们铸基小组留下的这些侦察报告和路径推演，能成为第一批登山者手中，不至于完全迷路的、最原始、却也最珍贵的地图和指南针。”

　　“这，就是铸基的意义，播种未来，静待惊雷。”

　　会议结束了。没有欢呼，没有激动的话语。孙启明、吴敏华、廖永康等人默默收拾着笔记，眼神却比来时更加明亮和坚定。

　　他们知道，自己参与的，是一项可能此生都无法见到最终成果，却意义非凡的寂寞长跑。

　　谢建军最后一个离开会议室。他站在门口，回望空无一人的房间，目光落在那两张尚未完成、布满问号和标注的地图上。

　　他知道，自己今天播下的，不是一颗立刻能开花结果的商业种子，而是一颗关于国家产业命运的、关于知其然更要知其所以然的理性，与远见的观念火种。

　　前路漫漫，道阻且长。

　　但唯有从源头思考，在底层布局，方能在未来那场注定到来的、关乎国运的科技巅峰对决中，为这个民族，保留一线生机，攒下一分宝贵的、独立思考与战略预判的本钱。

　　铸基之路，始于足下，指向星辰。

　　1990年9月10日，深镇，华强北，速达物流仓库后的小办公室。

　　南国的暑气还未完全褪去，办公室里老旧吊扇吱呀呀地转着，卷起的风带着尘土和汗水的气息，却驱不散室内几乎凝固的凝重。

　　刘强光着膀子，脖子上搭着条湿毛巾，脸色因急怒而涨红，正对着电话低吼：

　　“什么叫线路故障、货船延误？！上个月就订好的舱位，合同都签了！那批从港城转运的二手频谱分析仪备件，和日国产的精密陶瓷基板样品，是我们救命用的！

　　建军哥那边实验室等着测信号、做封装验证！你现在跟我说到不了？延误到什么时候？！…下周？下周复下周，下周何其多！我……”

　　他狠狠挂断电话，一拳砸在斑驳的木桌上，震得茶杯乱跳。“妈的，又是这套！这个月第三次了！只要是稍微敏感点的电子元器件、测试设备配件，走港城的渠道就肯定出幺蛾子！

　　不是海关例行检查，拖你十天半个月，就是船公司突发调整，再不然就是码头作业繁忙！以前运服装、运鞋、运磁带机怎么屁事没有？！”

　　旁边一个跟着刘强多年的老伙计，压低声音道：“强哥，我托人打听了。码头那边有风声，说……有几家背景很深的货代和船公司，最近收到了暗示。

　　对涉及高性能集成电路、精密仪器、特种化工品的货，要加强关注，流程上严格把关……您说，会不会是……”

　　刘强抹了把脸上的汗，眼神凶狠：“还能有谁？专利打不垮，官司拖不死，就想从根子上断我们的粮！让我们的研发缺东少西，生产断断续续！

　　这帮王八蛋，明的不行来阴的，在供应链上使绊子！这是要把我们活活耗死、拖死！”

　　几乎在同一时间，京城轩辕研发中心，轩辕-3架构设计核心小组的会议室里，气氛则是另一种极端的冰寒。

　　陈向东双眼布满血丝，死死盯着投影幕布上，轩辕-3的顶层架构图。旁边，负责前端（Front-End）设计的组长声音干涩地汇报：

　　“……基于与华晶初步沟通的1.2微米工艺设计规则（DRC）库，我们优化后的统一着色器阵列架构，在逻辑综合后，时序分析显示，关键路径的延迟超标了 15%。

　　主要瓶颈在寄存器文件（Register File）的读写端口竞争，以及全局时钟网络的偏斜（Skew）过大。

　　如果要满足目标频率，要么大幅降低部分单元的复杂度，性能受损，要么对工艺提出更高的要求，比如更低的金属电阻、更快的标准单元库，这恐怕……华晶那边暂时做不到。**”

　　“后端（Back-End）物理设计那边更麻烦，”另一位工程师接口，声音带着绝望：“我们现有的自动布局布线（APR）工具，是五年前的老版本，对这种高密度、时序要求苛刻的设计，优化能力严重不足。

　　手动调整的工作量是天文数字。而且……工具供应商那边明确回复，由于公司政策调整，暂停向我们提供任何形式的技术支持，和版本升级服务。

　　我们被锁定在这个落后的工具链上了。”

　　前端被工艺天花板压顶，后端被工具锁链捆缚。轩辕-3的设计，在刚刚看到一丝曙光时，就陷入了技术与工具的双重泥潭。

　　冰冷的数字和冷酷的商业决策，比任何法律诉讼都更直接地宣告着，前进道路的断绝。

　　陈向东感到一阵眩晕。他仿佛看到团队数月的心血，正在一张由落后工艺、老旧工具和国际巨头的商业默契编织成的大网中，无力地挣扎。

　　这不是一场公平的技术竞赛，这是一场戴着镣铐、蒙着眼睛、在对手预设的沼泽地里，进行的绝望跋涉。

　　“陈总，”负责与昆仑硬件小组对接的工程师匆匆进来，脸色更难看了。

　　“昆仑那边出问题了。他们自己设计的南桥芯片原型，在电磁兼容（EMC）测试中严重超标，导致整个原型机，在运行硬盘时频繁死机。

　　王工初步判断，是他们自己设计的开关电源模块纹波太大，而且电路板布局的地线，和电源规划有严重问题。

　　这问题很底层，要改可能得动板子，甚至芯片的 IO设计……他们的进度，恐怕要推迟至少三个月。”

　　坏消息如同深秋的寒潮，从供应链、到研发工具、到核心设计、再到关联项目，全方位、无死角地席卷而来。

　　每一处看似微小的技术瓶颈，或商业意外背后，似乎都隐约晃动着那只无形的、操控着全球产业链条的巨手。

　　它不需要出台法令，只需要在关键节点，轻轻暗示或调整，就足以让轩辕这样刚刚萌芽的挑战者，举步维艰，乃至窒息。

　　压力，如同实质的冰山，压在每个人的心头。研发中心里，往常此起彼伏的键盘敲击声和讨论声，都低了下去，取而代之的是一种压抑的沉默，和焦灼的叹息。

　　挫折感，像冰冷的藤蔓，在团队中悄然蔓延。

　　然而，就在这仿佛四面楚歌、冰封一切的至暗时刻，天京，星火基地，铸基计划那间安静的会议室内。

　　孙启明戴着老花镜，对照着一本从旧书摊淘来的、纸张发黄的俄文版《真空技术与应用》，以及几份北极星渠道换回的、关于特种金属冶炼的零碎笔记，正在一张大白纸上，吃力地绘制着电子级多晶硅，西门子法还原炉的简化原理结构图。

　　他画得很慢，很认真，不时停下来查字典，或者对着一些模糊的描述皱眉苦思。

　　尽管图纸简陋，尽管很多细节靠推测，但一种理解事物本质的、缓慢而坚定的快乐，在他紧锁的眉宇间偶尔闪现。

　　隔壁，装备与物理原理分组的小房间里，吴敏华、廖永康和宋国平之间的争论，却带着一种近乎炽热的兴奋。

　　“不对不对，老宋，你这个类比有问题！”廖永康指着白板上宋国平画的、用无线电波的反射和干涉，来类比光刻中衍射极限的草图说道。

　　“光波的衍射是标量波动理论，你那个电磁波传播，更多考虑矢量性和偏振！虽然都是波，但边界条件和介质特性完全不同！

　　这里，应该用惠更斯-菲涅尔原理的标量近似，结合光瞳函数和像差的，泽尼克多项式展开来分析！”

　　他一边说，一边夺过笔，在旁边快速写下一串复杂的积分符号，和多项式。

　　吴敏华则盯着另一块白板，上面是她根据几篇公开论文，和苏联光学教材的记载，尝试推导的一个，简化投影物镜的初始结构参数。

　　她头也不抬地说道：“廖博士，你那个是严格的理论分析，但对工程指导太复杂。

　　老宋的思路虽然粗糙，但直观，有助于理解，为什么光刻需要这么精密的光学系统，这个根本问题。