这个学霸过于自律 第405节
正是关乎着国产半导体行业未来的极紫外光刻机。
很快。
身穿操作服的徐铭，和贺鹏涛以及丁顺安两位院士迈步走到光刻机旁边。
“这是最新拿到的各项检测数据，今天再进行最后的调试优化工作，我们的光刻机便能开展首次流片验证。”
贺鹏涛暂时按耐着心中的激动情绪，边说边把手中的数据文件递给身旁的徐铭。
想到这么多天的努力，总算能够看到结果，饶是尽可能的保持镇定，手指依旧无法避免的因兴奋微微颤动。
第244章 流片数据出炉，光刻机主体成功
宽敞明亮的机房内，首台逐光极紫外光刻机，被放置在中心位置，是全场毫无疑问的焦点。前方墙上的大屏幕处，最上面挂着个红色横幅。
写有一行标语。
“预祝全系统首次链路功能验证流片圆满成功”
而现场除总设计徐铭，贺鹏涛与丁顺安两位院士，和微电子装备项目科研人员外，还包括华天科技公司，科技部领导以及多位院士专家。今天全部聚集在这里，只为共同见证国家高端芯片制造的崛起。
其中很多人，都是项目某环节参与者。
最终的结果如何，对他们来说，称得上是与有荣焉。
心中都憋着一口气。
但像科学院院长余高远，则完全把自己，放在观众的席位上，基本全程保持沉默，很少参与发言。
把本次验证的主导权，悉数交给总设计师徐铭。
仅在心中希冀验证圆满成功。
当视线重新回到徐铭身上，他已经伸手接过，贺院递过来的‘逐光’最新检测数据，随即垂下目光神情认真的仔细查看。
从海外新思公司，与阿斯麦半导体设备，共同发出公告，宣布将在明年正式推出，全新的极紫外光刻机和配套EDA算法工具，到现在已过去三个多月时间。
然论他们如何都不会想到，在这短短三个多月内，首台逐光极紫外光刻机，已完成组装。
将采用全新技术的核心光源系统，和工作件物镜系统等零部件整合。
这几天在差不多二十四小时，不停地调试优化下，基本满足实际流片验证标准。
在如此情况下，由国家芯片制造产业专项领导小组表决，定下今天开展首次全系统链路功能验证流片实验。
“没问题。”徐铭重新把数据文件递还过去说。
贺鹏涛接下笑着说：“大家等这一天可是很久了，眼下终于要变成现实。”他讲完不知是想到了什么，脸上显露出来的情绪，相比刚才多出几分伤感。
早在十年前。
国家发布中长期科学和技术发展规划纲要，把极大规模集成电路制造技术及成套工艺，排在16个国家重大科技专项首位，真正重视起芯片制造技术，并给与持续和巨额的经费支持。
他便被任命为项目主要负责人，扎根光机所研发国产光刻机。
尽管数年来取得一定成果，但距离海外阿斯麦公司，仍面临着巨大技术层面差距。
当时行业主流观点是，未来二十年时间，很有可能都无法实现追赶。
从某种程度上讲，比战斗机更加复杂棘手。
对任何一位光机所人来说，看到国产光刻机崛起，实现自主高端芯片制造，是大家最真挚质朴的梦想。
他贺鹏涛自然也不例外。
而如今因为徐铭，这个尚不到三十岁的青年才俊，国家的极大规模集成制造技术，迎来飞速突破进展。
以往的梦想得以实现，且亲眼目睹。
情绪难免会有所宣泄。
这是人之常情。
“你就放心吧老贺，咱们的逐光肯定能经受检验。”丁顺安闻言，及时接过话茬，成功转移贺鹏涛的注意力。
作为逐光系列光刻机的研发人员，就相当于是把孩子养大的父母。
自家孩子究竟是个什么水准，基本是心知肚明。
流片验证虽尚未开始，但最终结果如何，多少会有一个预期数值。
徐铭依旧保持着冷静的思维，将贺鹏涛和丁顺安两位的交流，悉数听进耳中，虽想说些宽慰的话，给他们吃上一颗定心丸，但嘴唇微动下，还是把话给咽了回去。
逐光极紫外光刻机，和璇玑系统EDA算法工具，他自然是胸有成竹信心满满。
但要知道一件事，流片验证的数据，可不单靠这两项左右，其中任何一个环节都能产生影响。
比如较为关键的光刻胶。
原本他的打算，是想通过璇玑系统，反向设计适配的高端光刻胶，尽管这会延长流片验证的日子，却可以保证良品率。
刚好科学院化学研究所，在国产光刻胶的研究上，取得了新突破。
便索性提前进行流片验证。
毕竟站在上面的角度，留给国内的时间确实不多，必须尽最大努力，和阿斯麦同步推出极紫外光刻机，把行业可能会受到的冲击损失，减低至最小范围。
于是念头停留在这里，他方沉声吐出一句话。
“开始工作吧，流片验证的数据如何，很快我们就能知道。”
随着话音落下，身旁的贺鹏涛和丁顺安，也一改刚才脸上的笑容，神情变得严肃认真。
点点头前往各自的工作区域，指挥科研人员调试。
为流片验证做最后准备。
……
伴随时间一分一秒流逝，机房现场的氛围，因逐渐弥漫的紧张感，变得有些窒息。
连余高远等场外人员，都仿佛要屏住呼吸。
生怕因为自己发出的动静，导致今天的流片验证出现问题。
不知道过去多久，只听站在操作台前的潘耀，突然开口向徐铭进行汇报，总算暂时打破眼下的氛围。
“报告徐总师，设备已调试完毕，随时可以进行流片。”
说完。
负责优化璇玑系统的苏振豪，同样不再保持沉默，紧跟在潘耀的话后，也停下手上动作，转过身报告工作进度。
“璇玑系统优化完成。”
闻言徐铭猛地从椅子上站起身。
目光先是依次在潘耀和苏振豪身上扫过，然后看向贺鹏涛和丁顺安，在短暂的眼神交流后，下秒便不再过多耽搁时间，立即下达了最重要的指令。
“开始吧。”
“是徐总设计师。”潘耀和苏振豪几乎同时回应。
紧接着所有科研人员，再次投入到紧张的工作状态，神情保持着高度专注。
此次流片验证采用的测试芯片，是一颗不包含复杂功能的专用测试芯片，其版图由璇玑系统软件生成。
包括分辨率测试图案，套刻精度标志，电性测试机构，和特殊监测图形等。
不多时。
在超净间外，徐铭和科研团队，通过观察窗，看着第一片硅片被送入珠光极紫外光刻机，整个气氛庄重而充满期待。
当全系统链路功能验证流片流程开始启动，严格按照璇玑输出的工艺档和珠光的标准参数执行，而这个过程也需要一定的时间，需在晶圆片完成制造后，进行光学量测和电子显微镜检测。
或许是看到氛围太过严肃，这个时候一直没发言的余高远，终于舍得主动开口。
“真让人惊心动魄啊，不知道有多久，没经历过这种心情了。”
说这句话时，故作轻松的语气，和脸上堆出的微笑，为大家的情绪增添一些不同的波动。
“大家的压力确实不小。”贺鹏涛点点头附和句。
前脚话音刚落，身旁科学院化学研究所的周启深院士，也接过话茬道：“国家有徐总师这样的天才，我相信逐光极紫外光刻机，肯定能光刻出良好的各层图案。”
他比贺鹏涛和丁顺安小上几岁，在光酸剂与树脂等分子设计，以及合成与作用机理等研究领域，位于国内领先地位。
对国家化学材料的发展，做出过重要贡献。
此次整合国内资源，成立国家集成电路制造研发创新中心，他所在化学研究所，也被纳入整合范围。
负责国产高端光刻胶的研发工作。
其中值得一提的是，徐铭擅长数学物理甚至信息学科，凭借自身实力和天赋，带领光刻机和芯片设计软件，快速实现技术迭代。
以至于经常能在网上看到，又有新的进展新闻。
这对他们光刻胶项目组团队来讲，无疑有着巨大的压力。
只能依靠自身。
尽最大努力，保证国产高端光刻胶的研发，做到不拖其他项目部门的后腿。
毕竟大家所在工作属于一个整体，任何人掉队都不行。
幸好他们的运气还算不错，在首台逐光极紫外光刻机组装完前夕，成功合成一种效果更好的光刻胶。