被迫登顶福布斯的那些年 第777节
兴奋，甚至有点震颤。
下车，张汝京秘书在工业厂房门口等他，告知人都进了Fab（生产区）。
又是一套麻烦的流程，换了一身全包裹的衣服，风淋除尘，静电检测，过了三道门，才进了Fab。
讲道理，陈学兵很需要这里，却不太喜欢来这里。
“张总，梁总，邱总！”
陈学兵看到人打了一圈招呼。
大家穿成这样，握手的客套也免了，好在里面很安静，话声很清晰。
这还是洁净生产区，有走道和很多区域，如果是放光刻机的超洁净室，连呼吸声都会很明显。
“邱总很久没回来了，我带着他到咱们的新厂转转。”张汝京解释道，又指了指不远处透明玻璃的超洁净室，“可惜啊，咱们的新光刻机还没到。”
陈学兵看到那片仍旧空荡荡的区域，点点头，有些好奇道：“新的光刻机挺大吧？周围这么窄，那个门也这么小，以后来了设备怎么进去？”
张汝京呵呵笑：“看到侧面那面墙了吗？平时是和周围一体的，要保证洁净度，但是有需要可以整面打开，那就是设备通道口，正上方的厂房屋顶位置也有吊装口，打开吊装口，用大型吊车从屋顶吊进来放在通道口，然后清洁，除静电，用气垫搬运车推进去。”
“哦...”陈学兵恍然，“机关不少啊。”
张汝京不舍地看着周围：“几十亿的厂子，刻蚀机最贵，光刻机其次，其他的清洁、监测、机械，都造价不菲，等会我给你一个名单，以后我不在，要建这样的厂，还得依靠他们。”
陈学兵点点头：“放心，你可以继续在半导体行业工作，我每年会拿出一笔钱给你做人才基金会，每年不少于三个亿，上海，苏州，或是周围几个城市，你来定地方，除了硬件，还要培养设计人才，运营方案我会让人给你做规划。”
话说着，本来在低声聊天的梁孟松和邱慈云也看了过来。
俩人看样子是已经熟悉上了，陈学兵进来的时候就见他们在聊。
“陈总，你要投资这么大，就没想过回报，中芯这些年，过得可不容易。”邱慈云主动搭话道。
陈学兵笑了笑：“我旗下未来的很多业务都要靠中芯来支撑，只要制程赶上去，我的很多想法就能实现了，邱总看样子是同意回来了？”
邱慈云迟疑了一下，没回答。
“回来吧。”陈学兵温和道：“待遇好说，钱也不是问题，订单更不是问题，最多下个月，我会操作一笔53亿的资金投进来，7.05亿美元，后续资金也会源源不断，我保证让你们打一场富裕的仗。”
3G产业基金分红以后有本金42亿，加上ARM中国股权转换11亿，共53亿。
这笔钱，完全足够梁孟松的前期开销了，甚至足够支付台积电的赔偿和技术授权费。
不止是邱慈云，张汝京和梁孟松都有些动容。
“以后中芯缺钱，找我融资就行了，股票市场上的反应你们无需再去在意，专事生产和技术研发就好。”陈学兵又补充道。
邱慈云深吸一口气。
天降大能于中芯，挖来了台积电的研发核心人物，摁着台积电给授权，妥善安置张汝京，还给这么一句承诺。
变了，中芯真是要大变了。
又是老厂子，有感情。
还给他一个董事长职位。
他此时已经想点头，只是强忍着几分矜持。
陈学兵也言尽于此，给张汝京递了个眼神。
张汝京领会，拉着邱慈云去一边：“老邱啊，以前没有认可你的路线是我的问题，你看，季明华，周梅生，涂良山这些你的老部下，我都提拔到工程副总裁，厂长...”
俩人聊着走远。
留下梁孟松，盯着那个空荡荡的超洁净室，忽然道：“你确定下个月资金能到位，我就请张总联系ASML下新的订单了，等机器到了我还要做很多改动，需要些时间，最好能一次拿三台，定制套件会方便一些。”
“没问题。”陈学兵笃定道。
说着，心里又是惊叹。
这神人居然还能改ASML的新机器。
“对了，你那天说XT1900i做FinFET至少要三台联动，如果...ASML下一代浸没式出来，单次曝光的制程节点更进一步，那就不需要这么多机器了吧？”
“不能。”梁孟松打量了他一眼，道：“我已经解释过了，需要多台机器这是工序问题，多重曝光的原理是把一个复杂图形拆分成多个简单图形，更好的光刻机只是能让每个工序做得更快一些，提高总体产出。”
梁孟松说到这里又再打量他，眼神里有些疑色。
“而且XT1900i在单次曝光制程上已经很难进步，快到极限了，你不知道？”
陈学兵有点懵了。
我又不是专家，上哪知道去？
而且...这才2007年，你跟我说极限？
“不可能吧？不是听说ASML在研究下一代吗？”
梁孟松见他瞪眼加迷茫，这才细细解释道：
“光刻机的精度提升，离不开一个公式，叫瑞利判据。
“计算公式为CD=k��×λ/NA，CD是单次曝光的线宽，k��是工艺因子，λ是波长，NA是数值孔径。
“需要线宽更小，就必须减小分子，扩大分母，分子k��目前的进步十分缓慢，λ波长是193nm，ARF光源，这也无法更改了。
“而分母，数值孔径NA=n×sinθ，θ是物镜最边缘光线与中轴线的半角，n是介质的折射率。
“浸没式光刻机的光介质是水，折射率比空气大很多，约等于1.44，而这台机器的第二代折反式光学镜头已经把θ拉到了大约70°，sin70°≈0.937，NA已经达到了1.35，差不多逼近极限了。
“所以，下一代光刻机，大概率只能从套刻精度上下功夫，提升多重曝光的能力，而单次曝光CD的极限很难提升了。”
这次梁孟松讲得很慢，而且很细，陈学兵边听边想，仍皱眉头。
“那个...水介质，也就是浸没式，不是降低光源波长来提升制程吗？怎么变成提升NA值了？”
“...”
梁孟松的眼神和陈学兵对上，陈学兵恍惚间看到了他中午对着王兴一般的无语。
不，好像还要更无语。
“你从哪学的伪科学？光源的波长进入任何物质都不会被改变，这是七年级物理课内容。”
“...我学文科的，再说我们大陆课程和你们不一样，初二才有物理，能搞懂干式和浸没式的区别就不错了。”陈学兵强行挽尊。
“好吧。”梁孟松倒也没有纠结，反而赞赏起来：“也是，你这样的投资人愿意了解这些，不多见。”
陈学兵口罩下重新微笑，心里也逐渐清晰起来。
“那工艺因子k��，听起来是和工艺相关？是各个厂家的技术决定吧？”
“对，这是很多技术决定的，拿65nm节点来说，中芯目前应该0.4-0.45之间，而台积电能达到0.32-0.35，所以中芯的65nm节点实际线宽可能是68nm，台积电65nm节点的实际线宽可以达到56nm，双方同代下会有性能差，不过这个问题你不用担心，我会逐步调整的，而且0.25就是理论极限，想继续逼近极限非常难，成熟节点的落差最终不会太大。”
陈学兵听着，有了判断。
那这个k��确实很难产生很大进步了。
波长不能变，NA接近极限。
除了通过提升套刻精度搞更多重的曝光，DUV已经难有提升了。
他这么一想，对EUV就愈发有危机感。
EUV光源的波长缩短十几倍，分子不是一下就缩小了十几倍？
“EUV...你了解吗？”陈学兵试探着问道。
他之前问过张汝京同样的问题，得到的是否定的答案。
梁孟松则迟疑了一下：“EUV？你想问什么？”
他一时没有思路，只能顺着刚才的话题问道：“EUV...也是靠这个公式进步吗？”
“是，不过EUV那样的光源，NA值达不到这么大，首先它波长太短，在任何介质下都会被吃掉，所以传播必须是真空，无法通过水提高折射率，连透镜折射都不行，只能反射，所以它的目标NA值是0.33，很难提升。”
其实这个0.33还有一番算法，梁孟松也不再细讲了，直接给了个答案。
陈学兵倒是听得心里一动：“这方面的理论知识你都清楚？”
梁孟松耸耸肩，笑道：“台积电从去年开始把EUV加入研发路线，林本坚和Anthony Yen负责，尤其是Anthony Yen，深度参与过EUV LLC早期的研究，自带最前沿的Know-how...比起他们，我不算了解。”
“能挖吗？”陈学兵立即道。
“怎么？你妄想做EUV？”梁孟松反笑：“你不是答应台积电不挖他们的人。”
“我答应中芯不挖，没说我不挖。”陈学兵哂笑：“我不动手就好了，不过，我还有一家刚成立的光刻机公司。”
梁孟松都上船了，他也不怕直说。
有些事想弄明白，恐怕也只有直说才行。
“做光刻机？”梁孟松眯了眯眼睛，倒没有太意外，不过随即却摇头：“DUV你有机会，EUV你肯定没机会的，是美国选中了ASML，连尼康和佳能都被排除在外，他们拿到了美国EUV全部专利技术，还有欧洲几十家关键厂商在支持，至今也才做出第一台试验机，离量产还不知道有多少距离，你凭什么觉得你能行？”
陈学兵听得扬了扬眉：“一点也没可能？”
“一点也没有，除非你能拿到美国Cymer的全套光源文件，然后得到德国镜片、奥地利传感器、荷兰精密机械、法国光学涂层...剩下我也不太清楚了，反正几十家厂子吧，全部的支持。”
梁孟松说到后面，已经带着点揶揄口吻了。
陈总又换了个思路：“那...能不能挖他的人？大量那种。”
梁孟松皱了皱眉：“你还没听懂？它是家组装厂，纵使是一家人类工业史上难度最高的组装厂，它的技术人员也必须依靠全套供应链的支持才能做出一台试验机。”
“我是说...挖人，能不能阻断它的研发进程？”陈学兵顿了一下，缓缓道：“你想，我投入了大量的经费让你研发多重曝光，通过这种方式结合FinFET进入14nm制程，按照你的说法，要五年时间，也许还会更久，如果我们刚做出来，EUV研发量产成功，我们是否又要基于EUV的路线，和别人站在同一起跑线研究FinFET？”
他没有提EUV能不能买，就这么假设了一下。
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