首富老爸：我开局被限制高消费！ 第120节

李浩理解道谢。

马院士笑着摆手：“别说谢不谢的，这都是小事情，你为我们项目带来的帮助足够大。”

“研究半导体芯片、光刻机，我也知道很难，你自己知道很难还是要去研究……就冲着这个，我也会帮你！”

“王院士是一个很好的人，长光所当初也有研究光刻机，只不过……”

“唉，我帮你找他说说，他知道你要投入光刻机的研究，肯定会支持你的！”

“那就麻烦您了！”

……

新年过后，李浩见到了冰城工业大学、航天动力技术部的博导，前任长光所所长和馆长——王琪海院士。

王其海院士新年就回来了，投入到003号船的动力系统的研究中。

希望早日看到003船完工下水，积累足够的技术经验，等004号航母用上更好的技术！

要知道，王院士已经79岁，马上就80岁了，还奋斗在研究中，当真让人汗颜，更让人敬佩。

“这位是王院士！”

“王老，这是我跟你说的小浩，一个很有本事和抱负的年轻人！”

马院士相互坐了介绍。

近60岁的马院士，在王院士面前就显得年轻很多，也要尊称一声：王老。

“马院士夸赞了。”李浩很谦虚，尊敬地向王院士问好：“王院士，您好，我是李浩。”

“我听说过你，非常了不起，有你和你的团队加入，弹射技术进展很快，咱们003号已经正式确定列装该功能了！”

王院士这个级别，还是负责003号最核心的动力系统，负责让航母动起来，为整个航母提供能量。

整个航母的电力系统，都是李浩这边的电控系统来管理，研究项目相互之间是有交叉的地方。

当然知道李浩和他的团队很厉害。

李浩谦虚道：“哪里，都是大家的功劳。”

大家闲聊了一番，随后也正式进入主题。

王院士说道：“听马院士说，你接手了鸿芯？投入大笔资金研究光刻机？目前研究到哪里了？”

光刻机有多难？

王院士当初可是长光所所长、馆长，如今已经退休了。

像这样的国宝级人才，退休也是返聘。

老人家也不让自己停下来休息，选择继续在一线折腾。

当初长光所放弃光刻机的研究，就知道这方面的封锁有多难。

李浩也知道，这是王院士对他的考验。

或者说，想知道浩鼎实验室有多少技术？

光刻机方面的研究，不是靠投入资金就能解决的。

资金仅仅是最基本的东西！

最重要的核心技术、人才、时间……最后才是资金。

“液压技术方面，我们已经有了突破……我们在精密仪器、高精度加工设备上也有研究。”

“橡胶材料方面的技术也已经取得突破。”

“核心透镜我们已经解决了！”

“曝光技术、校准技术、掩膜等方面的技术都已经有实质性的突破。”

“下游的光刻胶、光刻机气体等技术和材料都有突破！”

“目前，我主要研究方向是光源……”

李浩使用「研发中心」研发出5nm光刻机，之前还研究过车载芯片。

关于光刻机和芯片方面的专业知识、技术难题等等。

他知道得一清二楚。

是不是有真本事？

是不是真的有技术突破？

他和王琪海院士聊一聊就知道。

王琪海院士不是专业研究光刻机的，但他对光学工程方面还是相当了解的。

像王琪海院士这一代的人，人家专注的研究领域可不是某一个领域，在多个领域都算得上大牛！

非常厉害！

像双工作台、多重曝光技术这些，国内就有研究和突破。

李浩这边就更加成熟。

其实，委托齐勇从欧洲买来的32nm光刻机，使用的是DUV光源。

较比阿斯麦目前最新的EUV光刻机，光源波长比较长。

EUV光源可以做到10-15nm，光刻机起步就能做到7nm制程工艺到微米级别。

DUV最多就是28nm的制程工艺，通过多重曝光技术，也可以做到7nm工艺，这已经是极限了。

国内有研究团队说能做到7nm工艺，就是DUV技术使用多重曝光技术。

只是相关技术……还是在实验室里。

理论上的！

量产光刻机……根本造不出来！

多重曝光技术也很好理解：原本光刻机将芯片的电路图纸直接光刻到芯片上，光源比较粗，制程工艺有限制。

多重曝光技术，将原本芯片上的图纸，拆分成多份，分别进行光刻，然后再组合起来，形成一个完整的电路图。

这样做，能让DUV光刻机理论上也能加工7nm芯片，但这也是极限了。

5nm是不可能的。

即便使用多重曝光技术拆分电路图，光源还是太粗，组合成一张电路图的时候，还是会出错。

这就需要EUV光源，它的波长更短，这个‘光’是一把更精致的刻刀，能雕刻更细微的电路图。

第111章 牵线搭桥，微服私访？（2更）

“听你这么说，是对集成电路领域是做足了充分准备的……”

“还以为你只是一时脑热，满腔热血的进入这个领域。”

王琪海院士听李浩说了这么多，知道这个年轻人并非一时脑热就去研究光刻机。

从技术储备方面来看，这个年轻人的团队在下游芯片设计，甚至芯片材料方面都有做技术储备。

“你准备如何解决光源的问题？”

王琪海院士又向李浩介绍长光所以及冰城工业大学，目前在极紫外光源方面的研究成果。

“冰城工业大学在国家012号课题上，进行关于光学领域的研究……极紫外光的研究只是其中一个分类。”

“这个课题在去年已经结束了……到了后期，相关的研究已经没有太大的进展，研发投入和收获不成正比。”

“冰城工业大学的Euv光源技术，是基于Xe气毛细管放电技术。”

“属于早期一种DPP光源技术，达不到制作EUV光刻机的要求！”

“长光所在Xe等离子体Euv光源研究上，主要研究方向也是各种短波长激光器，并非在Euv光源上。”

“国内各大高校和研究所，在EUV光源的研究上，大概相当于国外1998年的水平！”

王琪海院士可是主管长光所，如今也是冰城工业大学的博导，对这两方面都十分了解。

李浩表示：“在浩鼎实验室，已经制作出一台频率为1000kHz的等离子体极紫外光原机的设备……”

“收集系统采用Wolte——X型反射镜结构，以掠入射方式，将管内发出的13.5nm的极紫外光源聚焦到IF点……在重复频率为1 kHz时，2π立体角内13.5 nm 辐射光功率约为1.4 W ，经估算 IF 点的功率约100 mW 。”

“目前能做到13.5nm的放电Xe等离子体极紫外光源！”

“很了不起！”王琪海院士毫不吝啬地称赞，他想了想，说到：“这相当于国外零几年的技术吧！”

“从Duv光源到EUV光源，国外光刻机巨头被卡了那么多年……我们现在不需要摸着石头过河，只需要摸着他们过河就行！”

李浩这边在光源方面，能有这样的研究进展，确实投入很大的精力。

连光源设备的样机都造出来了！

加上李浩之前所说的各种技术储备。

浩鼎实验室在光刻机领域的研究，还真是不可小觑。

王琪海院士觉得，怎么都要帮这个年轻人一把。

这个年轻人怀着满腔热血接手了鸿芯，投入了大量的资金和精力，要研究光刻机和芯片。